在低温泵中，有一个被液氦或制冷机冷却到很低温度的冷板，将气体冷凝，使冷凝液的蒸汽压保持低于泵压的很大值，从而达到抽气效果，低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。